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特种气体
特种气体

硅烷、申烷、乙硼烷、氨、一氧化碳、氧化亚氮、一氧化氮、二氧化硫、硫化氢、碳氢化合物等

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高纯气体
高纯气体

高纯气体包括氢气、氧气、氮气、氩气、二氧化碳

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稀有气体
稀有气体

稀有气体种类有氦、氖、氪、氙

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混合气体
混合气体

常见混合气体

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标准气体
标准气体

标准气体常用的配气方法与技术指标

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