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实验室混气装置

实验室混气装置

简要描述:

实验室混气装置是硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷和氢、氮、氩、氦的混合气体;原料气体纯度采用99.999%-99.9999%的高纯气体,稀释气体采用纯度≥99.9999%气体。

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实验室混气装置

实验室混气装置用途

组份名称与常用浓度范围

平衡气

照明混合气

Ar  0.01-3%

Ne

Ar  30-50%

Ne

Ar  30%

Kr

N2 12-17%

Ar

Kr  1-5%  Ar  5-30%

N2

Xe 3-7% Ne 1-5% Ar 5-10%

He

CH3Br  0.1-1% 

Kr

激光混合气体

CO2 10-34%

He

CO2 4.5—16%  N2  10—25%

He

H2 1% CO 4% CO2 16% N2 16%

He

还原混合气体

H2  30-70%

N2

CO 20-50%

N2

H2  5-15%

N2

焊接混合气体

O2  1-5%

Ar

CO2 10-20%

Ar

O2   1-2%

Ar

CO2 1-5%

Ar

CO2  5-10%

Ar

He 30-40%

Ar

He 50-80%

Ar

射线测定

CH10%

Ar

消毒杀菌

C2H4O  10-20%

液体CO2

Cl2  2-20%

N2

细胞培养

CO2  5%

O2

检漏

He  0.5-10%

N2或Ar

类别

浓度范围

配置允许误差

分析准度

特气混合气

(10-99)×10-6

组份的±10%

±3%

(100-999)×10-6

组份的±5%

±2%

(0.1-50)%

组份的±5%

±2%

                                                                                               

   

指标

H2,  10-2

≤0.1

O2, 10-6

≤5

H2O, 10-6

≤5

CH4 CO CO2, 10-6

≤5

注:(1)硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷和氢、氮、氩、氦的混合气体;

(2)原料气体纯度采用99.999%-99.9999%的高纯气体,稀释气体采用纯度≥99.9999%气体。

混合气名称

组份名称与常用浓度范围

平衡气

氟氩混合气

F2 1.0%  Ar 3.4-3.6%

Ne

氩氖混合气

Ar 3.5%  Xe 10ppm 

Ne

氪氟混合气

F2 1.0%  Kr 1.25%

Ne

氪氖混合气

 Kr  1.25%

Ne

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