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高纯硅烷分析色谱

高纯硅烷分析色谱

简要描述:

高纯硅烷分析色谱用于分析高纯硅烷中的微量杂质,独创的特气吹扫系统,采用中心切割技术,切割时间可控制在毫秒级硅烷中H2/O2/N2/CH4/CO/CO2杂质分析----AGC100DI检测器工作原理

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高纯硅烷分析色谱系统名称:硅烷中杂质分析检测系统。

我公司设计的“高纯气分析检测系统”包括以下主要设计思路:

l  专台专用,在完全满足检测要求的前提下,优化组合配套;

l  仪器的选型配套,要符合实验室的使用要求,并且便于分析人员的操作;

l  提供人性化的售后服务和支持,保证使用方能独立操作。

高纯硅烷分析色谱技术优势:

我公司设计的“高纯气分析检测系统”方案拥有以下技术优势:

l  色谱仪的核心部件----检测器完全基于爱尔兰AGC公司的自主研发, 具有较高的灵敏度、较好的稳定性;

l  色谱仪的气路系统----独到的中心切割、反吹系统技术,可以一次完成多种复杂成分的分析检测;

l  色谱仪的软件系统----专门为AGC色谱配套研发的Trend Vision除完成测试报告、自动分析/存储数据,自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外,zui多可同时控制4台分析仪器;

l  本方案中所配套的露点仪,为行业内先进的气体分析仪器,可以完全满足实验室高纯气体的检测。

 方案详解

方案总述

l 硅烷中H2O2N2CH4COCO2杂质分析

推荐仪器:AGC 100DID气相色谱仪

数量:1

l 特气分析专用吹扫系统一套

硅烷中H2/O2/N2/CH4/CO/CO2杂质分析----AGC100DI

的工作原理:

放电离子化检测器的结构如图1所示。该检测器由电离室和放电室两部分组成,两室之间有狭路相通。当在放电室内的两个高压电极上加以适量高压电后,两电极之间就会产生放电,从而得到一束高能量的紫外光辐射(400500nm)。高能紫外光被引入射向电离室内,在这过程中,高能光子直接照射样品成份中被测杂质分子,使其电离形成离子,或者高能光子首先将载气氦原子激发至亚稳态(He*),然后具有较高能量的He*再与样品中杂质分子发生非弹性碰撞并使其电离。此时在集电极上加以适当电压收集被电离的杂质分子,并将其信号放大记录即得到被测成份的谱峰。由于光子具有较高能量(24.8ev),因此可使包括氖在内的一切物质分子电离,所以,DID是一种高灵敏度、通用型检测器。

 

  图1DID检测器

 

 

 

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  技术数据

 

型号、厂家

AGC100DID、爱尔兰AGC仪器有限公司

DID检测器

灵敏度:CH4≤5ppb

线性范围:>106

柱箱温度范围

室温~250℃

升温精度

<±1%

载气

超纯氦  >99.999%

放电气体

超纯氦  >99.999%

驱动气

清洁干燥空气

电源要求

220V,50/60Hz

样品气进口连接方式

 1/8″VCR

安装方式

支架式

 

 

 

 

 

 

 

 

供货组成及系统流程图

 

AGC600DID色谱仪组成(如图2所示):

数量

1.色谱柱分离系统

色谱柱类型:填充柱

1

填充物类型:5A分析筛、Hayesep,脱氧柱

2.控制阀系统

进样阀:十通电磁阀

1

切割控制阀:八通,四通电磁阀

2

3.分析检测系统

DID检测器

1

专用电源

1

4.数据分析系统

AGC专用工作站Trend Vision:除完成测试报告、自动分析/存储数据,自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外,zui多可同时控制4台色谱仪,图2所示。

1

电脑

1

打印机

1

配套组成部分:

数量

载气纯化器

可再生型,型号75-802,图3所示。

1

超高纯调压器

AGC(P-125)专用的气体超高纯调压器(双极)图4所示

2

载气切换装置

专用切换阀组

1

标准气

各组分均符合检测要求

1

载气

超纯氦  >99.999%

2

驱动气

清洁干燥空气

1

的外形图

 


                                                                     AGC 100DID主机

 

           载气纯化器

 

特气分析专用吹扫系统

 

  

 

技术服务

安装调试

l  仪器到达客户现场后,根据需方建议的时间,供方安排工程师去现场进行仪器开箱验收及安装调试工作。

l  调试工作由供方负责,需方应积极派出工程师配合供方调试,并为调试工作创造必要工作条件。

l  仪器调试达到厂家仪器说明书指标后,需方人员验收。

l  卖方保证所提供仪器设备及配置能够正常投入使用,并用于贵企业高纯气体的分析,若仪器不能正常投入使用,卖方有权要求退货及赔偿处理。

培训

l  基础培训:供方根据需方要求,可安排一定时间在仪器调试前进行分析仪器应用及维护的基础知识培训,为期1周,人员2-4名,地点在北京。

l  应用培训:需方派出工程师贰名,配合供方开展仪器调试,并在调试过程中接受实际应用培训。

售后

l  现场服务:自仪器交付客户之日起,不论何时仪器发生质量问题,供方在接到来电后立即进行技术咨询。对仪器问题较严重者,则24小时赶到现场解决。

l  保质期为壹年,在保质期内,因质量原因造成仪器损坏的,供方负责免费维修及免费更换损坏的零部件;在保质期外,供方仍负责维修及更换损坏的零部件,但需方需按供方规定支付有关费用。但是,供方保证长期以优惠价提供零部件。

供方对所提供的仪器协助解决现场应用问题,包括为客户建立操作规程,对气体分析管理组织方案的建议,对化验室建设及整改方案的建议。

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