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高纯硅烷分析色谱
高纯硅烷分析色谱

高纯硅烷分析色谱用于分析高纯硅烷中的微量杂质,独创的特气吹扫系统,采用中心切割技术,切割时间可控制在毫秒级硅烷中H2/O2/N2/CH4/CO/CO2杂质分析----AGC100DI检测器工作原理

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